Høj temperaturopvarmning af nitrogen

Høj temperaturopvarmning af nitrogen

For brugerens bekvemmelighed er den høje temperaturopvarmning af nitrogen designet med en indbygget ebara (VSN) controller til temperatur- og strømningskontrolsystemer, der muliggør plug-and-play-drift og arbejder i forbindelse med Ebara 10 "berøringsskærm OI, der i øjeblikket bruges i Andre termiske løsninger.

System med varm gas temperaturstyring, der reducerer værktøjspumpe-drop-cyklustiden (monomer / kammerpumpe / rengøring) og forhindrer dannelse af ætsende kondensater og reaktantbiprodukter i nedstrøms udstødningsrør. Den bruger inert (N2) gas til at varme, fortynde og trykke på forskellige processpildevand. Det varme luftkontrolsystem bruges hovedsageligt til udstødningsregulering nedstrøms for vakuumpumpen og opstrøms for vaskemaskinens gummi.